Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем: Учебное пособие
Ворзобова Н.Д., Денисюк И.Ю.
В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению ''Фотоника и оптоинформатика'', а также студентов других оптических и информационных специальностей
კატეგორია:
წელი:
2008
გამომცემლობა:
СПбГУ ИТМО
ენა:
russian
გვერდები:
80
ფაილი:
PDF, 4.00 MB
IPFS:
,
russian, 2008